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蓝冠《Q374919》 源测量装置(SMUs)是一种可以源电流和测量电压或源电压和测量电流的仪器。自20多年前推出以来,蓝冠 它们已发展成为多用途仪器,以满足不断扩大的测试应用需求,包括:

源测量单元(SMUs)是一种可以源电流和测量电压,或者源电压和测量电流的仪器。自二十多年前推出以来,它们已发展成为多用途仪器,以满足不断扩大的测试应用的需要:

半导体器件制造,工艺开发,蓝冠官网 产品研究/设计

超低功率电子产品的生产验证,如植入式心脏起搏器

生产和开发新先进材料的设备,如太阳能电池和摇杆

SMU仪器能够四象限运行(图1),作为正或负直流源或汇聚(负载)。它们还提供了高重复性的测量,蓝冠注册 通常具有51 / 2或6 / 1 / 2的分辨率。由于SMU可以扫描输出电压或电流,测试工程师在自动化测试系统中使用SMU仪器来确定半导体器件的I-V特性。对于高功率器件的测试,SMU仪器可以产生大电流脉冲来测试器件,而不会向器件释放多余的热量,从而提高器件的温度。

显示所有四象限操作的SMU操作范围示例

为了测试多种类型的设备,您需要能够在大范围信号水平上操作的测试设备。例如,功率mosfet等设备设计有非常低的阻力和处理非常大的电流,当打开,但是有很高的抵抗和允许关闭时几乎为零电流。在国家,当前通常高达几十安培;在断开状态下,这个电流可能小于1纳米安培。

同样,在描述功率二极管和高亮度led时,需要一个宽的动态范围。当正向偏置电压低于阈值应用于这些器件时,器件电流非常低。当电压从0伏增加到阈值时,器件电流从小于1毫安增加到大于1毫安。当偏置电压达到并随后超过阈值时,测试电流迅速增加,根据设备的不同可达数十至数百安培。使用一个单一的测试设备可以在这个范围内进行精确的测量是可取的,因为它使测试设置不那么复杂,也不那么昂贵。

不幸的是,尽管有相反的说法,大多数制造商的smu元件的动态范围比最敏感的smu要小几十年。在高端,它们受到它们能产生多少电流的限制,通常最高为100毫安。在低端,这些smu通常没有足够的屏蔽来防止电路产生的噪声影响低电平测量。因此,大多数元件smu的电流范围不低于10微安。

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