蓝冠注册《Q374919》微机电系统是什么?

微机电系统(MEMS)，蓝冠官网 在欧洲也被称为微系统技术，在日本也被称为微型机器，是一类以体积小和制造方式为特征的设备。MEMS器件的特征长度从一毫米到一微米，比人的头发直径还要小很多倍。

MEMS通常采用普通机械部件和工具的微观模拟;它们可以有通道、孔、悬臂、膜、空腔和其他结构。然而，MEMS部件没有加工。相反，它们是用微制造技术制造的，类似于集成电路的批量处理。

现在有许多产品使用MEMS技术，蓝冠注册 如微热交换器、喷墨打印机头、用于高清投影仪的微镜阵列、压力传感器、红外探测器等等。

我们为什么需要MEMS?

“他们告诉我，电动机只有你小手指上的指甲那么大。他们告诉我，市场上有一种装置，你可以用它把主祷文写在大头针上。但这没什么;这是我想要讨论的方向上最原始、最犹豫的一步。下面是一个小得惊人的世界。在2000年，当他们回顾这个时代时，他们会想，为什么直到1960年才有人开始认真地朝这个方向发展。”

——理查德·费曼，《底部还有很多空间》1959年12月29日，在加州理工学院的美国物理学会年会上

理查德·费曼(Richard Feynman)在这篇经典且有点预言性的演讲中，继续描述了我们如何将《大英百科全书》(Encyclopedia Britannica)的每一卷文字写在大头针的头上。但我们可能会想:为什么要在如此微小的尺度上操纵物体呢?

MEMS器件执行许多与宏观器件相同的任务，蓝冠招商 同时也提供许多优点。首先也是最明显的是小型化。正如前面提到的，mems规模的器件足够小，可以在批量制造过程中制造，类似于今天的集成电路。与集成电路行业一样，批量制造可以显著降低批量生产的成本。一般来说，MEMS需要更少的材料来生产，这可以进一步降低成本。

除了更便宜的前景外，MEMS设备也比它们更大的同类产品更适用。在智能手机、摄像头、安全气囊控制装置或类似的小型设备中设计金属球和弹簧加速度计是最不切实际的;通过将器件尺寸缩小几个数量级，MEMS可以用于传统传感器太大的应用场合。